Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д.

Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии

Автор Крапухин В.В. Соколов И.А. Кузнецов Г.Д.
Издательство МИСИС, 2-е издание
Год 1995
Формат DJVU
Рейтинг книги
0.00
(оценок < 5)
0 10

Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы.

Для студентов вузов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» и специальности «Материалы и компоненты твердотельной электроники».



X