Металлизация ультрабольших интегральных схем - Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.
Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.

Металлизация ультрабольших интегральных схем

Автор Громов Д.Г. Мочалов А.И. Сулимин А.Д. Шевяков В.И.
Издательство БИНОМ. Лаборатория знаний
Год 2009
Формат PDF
Рейтинг книги
0.00
(оценок < 5)
0 10

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.



X