Получение тонкопленочных элементов микросхем - Данилин Б.С.
Данилин Б.С.

Получение тонкопленочных элементов микросхем

Автор Данилин Б.С.
Издательство Энергия
Год 1977
Формат DJVU
Рейтинг книги
0.00
(оценок < 5)
0 10

В книге в краткой и доступной для читателя форме рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой. Описывается аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, и рассматриваются способы получения требуемой конфигурации тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Книга предназначена для работников радиотехнической и электронной промышленности, занимающихся проектированием и изготовлением радиоэлектронной аппаратуры с использованием тонкопленочной технологии.



X